Detektor cacat Permukaan Substrat Masker Kosong
Aplikasi
Untuk kontrol proses dan manajemen hasil pembuatan substrat blank mask, kami dapat membantu produsen
untuk mengidentifikasi dan memantau cacat topeng, mengurangi risiko hasil dan meningkatkan kemampuan R&D independen mereka
teknologi inti.
Prinsip bekerja
Cacat pada permukaan topeng kosong dapat dideteksi secara otomatis berdasarkan perolehan informasi visual,
algoritma logika yang mendasari dan kebutuhan aktual.
Fitur
|
Model |
SDD-BM-X—X | |
|
Deteksi kinerja |
Jenis cacat yang dapat dideteksi | Goresan, Debu |
| Ukuran cacat yang dapat dideteksi | 1μm | |
| Akurasi deteksi (terukur) |
Deteksi 100% cacat / koleksi cacat (goresan, debu) |
|
| Efisiensi deteksi |
≤10 menit (Nilai terukur: Topeng 350mm x 300mm) |
|
|
Performa Sistem Optik |
Resolusi | 1,8μm |
| Pembesaran | 40x | |
| Bidang pandang | 0,5 mm x 0,5 mm | |
| Pencahayaan cahaya biru | 460nm, 2,5w | |
|
Performa Platform Gerak
|
X, Y gerak dua sumbu Kerataan meja marmer: 2,5μm Presisi runout arah-Z sumbu Y: ≤ 10,5μm Presisi runout arah Z sumbu Y: ≤8,5μm |
|
| Catatan: Produksi yang disesuaikan tersedia. | ||
Gambar Deteksi
Keuntungan kita
Kami adalah produsen.
Proses dewasa.
Balas dalam 24 jam kerja.
Sertifikasi ISO kami
Bagian Dari Paten Kami
Bagian Dari Penghargaan dan Kualifikasi R&D Kami
Produk kami dijual di seluruh dunia. Anda dapat yakin dengan seluruh proses produk kami.
