Deposisi Sputtering Magnetron di Industri Semikonduktor
Aplikasi
| Aplikasi | Tujuan spesifik | jenis bahan |
| Semikonduktor | IC, elektroda LSI, film pengkabelan | AI, Al-Si, Al-Si-Cu, Cu, Au, Pt, Pd, Ag |
| elektroda memori VLSI | Mo, W, Ti | |
| Film penghalang difusi | MoSix, Wsix, TaSix,, TiSx, W, Mo, W-Ti | |
| Film perekat | PZT(Pb-ZrO2-Ti) , Ti, W |
Prinsip bekerja
Prinsip sputtering magnetron: di bawah aksi medan listrik, elektron bertabrakan dengan atom argon dalam prosesnya
terbang ke substrat dengan kecepatan tinggi, mengionisasi banyak ion argon dan elektron, dan kemudian elektron terbang ke
substrat.Ion Argon membombardir target dengan kecepatan tinggi di bawah aksi medan listrik, menyemburkan banyak target
atom, kemudian atom target netral (atau molekul) mengendap pada substrat untuk membentuk film.
Fitur
| Model | MSC-SEM-X—X |
| Jenis pelapis | Berbagai film dielektrik seperti film logam, oksida logam dan AIN |
| Kisaran suhu lapisan | Suhu normal hingga 500 ℃ |
| Lapisan ukuran ruang vakum | 700mm * 750mm * 700mm (Dapat Disesuaikan) |
| Vakum latar belakang | <5×10-7mbar |
| Ketebalan lapisan | ≥ 10nm |
| Presisi kontrol ketebalan | ≤ ±3% |
| Ukuran lapisan maksimum | ≥ 100mm (Dapat Disesuaikan) |
| keseragaman ketebalan film | ≤ ±0,5% |
| Pembawa substrat | Dengan mekanisme rotasi planet |
| Bahan sasaran | 4×4 inci (kompatibel dengan 4 inci ke bawah) |
| Sumber Daya listrik | Catu daya seperti DC, pulsa, RF, JIKA, dan bias adalah opsional |
| Gas proses | Ar, N2, O2 |
| Catatan: Produksi yang disesuaikan tersedia. | |
Sampel Pelapisan
Langkah Proses
→ Tempatkan substrat untuk pelapisan ke dalam ruang vakum;
→ Vakum secara kasar;
→ Nyalakan pompa molekuler, vakum dengan kecepatan tinggi, lalu nyalakan revolusi dan rotasi;
→ Memanaskan ruang vakum hingga suhu mencapai target;
→ Terapkan kontrol suhu konstan;
→ Bersihkan elemen;
→ Berputar dan kembali ke asal;
→ Lapisan film sesuai dengan persyaratan proses;
→ Turunkan suhu dan hentikan rakitan pompa setelah pelapisan;
→ Berhenti bekerja saat operasi otomatis selesai.
Keuntungan kita
Kami adalah produsen.
Proses dewasa.
Balas dalam 24 jam kerja.
Sertifikasi ISO kami
Bagian Dari Paten Kami
Bagian Dari Penghargaan dan Kualifikasi R&D Kami
Produk kami dijual di seluruh dunia. Anda dapat yakin dengan seluruh proses produk kami.
