Deposisi Sputtering Magnetron di Industri Baterai Film Tipis Perovskite
Aplikasi
| Aplikasi | Tujuan spesifik | jenis bahan |
| Baterai film tipis Perovskite | Lapisan konduktor transparan | ZnO:Al |
Prinsip bekerja
Sputtering magnetron adalah untuk membatasi dan memperluas jalur gerak elektron oleh medan magnet, mengubah gerak
arah elektron, meningkatkan laju ionisasi gas kerja dan secara efektif menggunakan energi elektron.
Sputtering Magnetron memiliki karakteristik sebagai berikut: laju deposisi cepat, efisiensi deposisi tinggi, cocok untuk
aplikasi skala besar dalam produksi industri;suhu substrat rendah, cocok untuk pelapisan plastik dan
substrat tahan panas lainnya;kemurnian tinggi dari film yang disiapkan, kekompakan yang baik, keseragaman film yang lebih baik dan kuat
kohesi film-substrat;logam, paduan, oksida dan film lainnya dapat disiapkan;bebas polusi.
Fitur
| Model | MSC-PFB-X—X |
| Jenis pelapis | Berbagai film dielektrik seperti film logam, oksida logam dan AIN |
| Kisaran suhu lapisan | Suhu normal hingga 500 ℃ |
| Lapisan ukuran ruang vakum | 700mm * 750mm * 700mm (Dapat Disesuaikan) |
| Vakum latar belakang | <5×10-7mbar |
| Ketebalan lapisan | ≥ 10nm |
| Presisi kontrol ketebalan |
≤ ±3% |
| Ukuran lapisan maksimum | ≥ 100mm (Dapat Disesuaikan) |
| keseragaman ketebalan film | ≤ ±0,5% |
| Pembawa substrat | Dengan mekanisme rotasi planet |
| Bahan sasaran | 4×4 inci (kompatibel dengan 4 inci ke bawah) |
| Sumber Daya listrik | Catu daya seperti DC, pulsa, RF, JIKA, dan bias adalah opsional |
| Gas proses |
Ar, N2, O2 |
| Catatan: Produksi yang disesuaikan tersedia. | |
Sampel Pelapisan
Langkah Proses
→ Tempatkan substrat untuk pelapisan ke dalam ruang vakum;
→ Vakum secara kasar;
→ Nyalakan pompa molekuler, vakum dengan kecepatan tinggi, lalu nyalakan revolusi dan rotasi;
→ Memanaskan ruang vakum hingga suhu mencapai target;
→ Terapkan kontrol suhu konstan;
→ Bersihkan elemen;
→ Berputar dan kembali ke asal;
→ Lapisan film sesuai dengan persyaratan proses;
→ Turunkan suhu dan hentikan rakitan pompa setelah pelapisan;
→ Berhenti bekerja saat operasi otomatis selesai.
Keuntungan kita
Kami adalah produsen.
Proses dewasa.
Balas dalam 24 jam kerja.
Sertifikasi ISO kami
Bagian Dari Paten Kami
Bagian Dari Penghargaan dan Kualifikasi R&D Kami
Produk kami dijual di seluruh dunia. Anda dapat yakin dengan seluruh proses produk kami.
