Deposisi Sputtering Magnetron di Bidang Film Fungsional
Aplikasi
| Aplikasi | Tujuan spesifik | jenis bahan |
| Film fungsional | Film super keras | TiN, TiC |
|
Film tahan cahaya |
Cr, AlSi, AlTi, dll | |
| Film resistif | NiCrSi, CrSi, MoTa, dll | |
| Film superkonduktor | YbaCuO, BiSrCaCuo | |
| film magnetik | Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi, dll |
Prinsip bekerja
Ada banyak jenis sputtering magnetron dengan prinsip kerja dan objek aplikasi yang berbeda.Tapi disana
adalah satu kesamaan: itu membuat elektron berjalan di jalur spiral di dekat permukaan target melalui interaksi antara
medan magnet dan listrik, sehingga meningkatkan kemungkinan menghasilkan ion yang dihasilkan dari elektron yang mengenai argon.
Ion yang dihasilkan kemudian mengenai permukaan target di bawah aksi medan listrik dan memuntahkan bahan target.
Fitur
| Model | MSC-FF-X—X |
| Jenis pelapis | Berbagai film dielektrik seperti film logam, oksida logam dan AIN |
| Kisaran suhu lapisan | Suhu normal hingga 500 ℃ |
| Lapisan ukuran ruang vakum | 700mm * 750mm * 700mm (Dapat Disesuaikan) |
| Vakum latar belakang | <5×10-7mbar |
| Ketebalan lapisan | ≥ 10nm |
| Presisi kontrol ketebalan | ≤ ±3% |
| Ukuran lapisan maksimum | ≥ 100mm (Dapat Disesuaikan) |
| keseragaman ketebalan film | ≤ ±0,5% |
| Pembawa substrat | Dengan mekanisme rotasi planet |
| Bahan sasaran | 4×4 inci (kompatibel dengan 4 inci ke bawah) |
| Sumber Daya listrik | Catu daya seperti DC, pulsa, RF, JIKA, dan bias adalah opsional |
| Gas proses | Ar, N2, O2 |
| Catatan: Produksi yang disesuaikan tersedia. | |
Sampel Pelapisan
Langkah Proses
→ Tempatkan substrat untuk pelapisan ke dalam ruang vakum;
→ Vakum secara kasar;
→ Nyalakan pompa molekuler, vakumdengan kecepatan tinggi, lalu nyalakan revolusi dan rotasi;
→ Memanaskan ruang vakum hingga suhu mencapaitarget;
→ Terapkan kontrol suhu konstan;
→ Bersihkan elemen;
→ Berputar dan kembali ke asal;
→ Lapisan film sesuai dengan persyaratan proses;
→ Turunkan suhu dan hentikan rakitan pompa setelah pelapisan;
→ Berhenti bekerja kapanoperasi otomatis selesai.
Keuntungan kita
Kami adalah produsen.
Proses dewasa.
Balas dalam 24 jam kerja.
Sertifikasi ISO kami
Bagian Dari Paten Kami
Bagian Dari Penghargaan dan Kualifikasi R&D Kami
Produk kami dijual di seluruh dunia. Anda dapat yakin dengan seluruh proses produk kami.
