Deposisi Lapisan Atom di Industri Optik
Aplikasi
| Aplikasi | Tujuan spesifik |
| Optik | Komponen optik |
| Kristal fotonik | |
| Layar elektroluminesen | |
| Spektroskopi Raman yang disempurnakan permukaan | |
| Oksida konduktif transparan | |
Lapisan bercahaya, lapisan pasivasi, lapisan pelindung filter, lapisan anti-reflektif, anti-UV |
Prinsip bekerja
Deposisi lapisan atom (ALD), awalnya disebut epitaksi lapisan atom, juga disebut uap kimia lapisan atom
endapan(ALCVD), adalah bentuk khusus deposisi uap kimia (CVD).Teknologi ini dapat menyimpan zat
di permukaansubstrat dalam bentuk lapisan film atom tunggal dengan lapisan, yang mirip dengan kimia umum
pengendapan, tetapi diproses pengendapan lapisan atom, reaksi kimia dari lapisan baru film atom secara langsung
terkait denganlapisan sebelumnya, sehingga hanya satu lapisan atom yang diendapkan pada setiap reaksi dengan metode ini.
Fitur
| Model | ALD-OX—X |
| Sistem lapisan film | AL2HAI3,TiO2,ZnO, dll |
| Kisaran suhu lapisan | Suhu normal hingga 500 ℃ (Dapat disesuaikan) |
| Lapisan ukuran ruang vakum | Diameter dalam: 1200mm, Tinggi: 500mm (Dapat disesuaikan) |
| Struktur ruang vakum | Sesuai dengan kebutuhan pelanggan |
| Vakum latar belakang | <5×10-7mbar |
| Ketebalan lapisan | ≥0,15nm |
| Presisi kontrol ketebalan | ±0,1 nm |
| Ukuran pelapis | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², dll |
| keseragaman ketebalan film | ≤±0,5% |
| Prekursor dan gas pembawa | Trimethylaluminum, titanium tetraklorida, dietil seng, air murni, |
| Catatan: Tersedia produksi yang disesuaikan. | |
Sampel Pelapisan
Langkah Proses
→ Tempatkan substrat untuk pelapisan ke dalam ruang vakum;
→ Sedot ruang vakum pada suhu tinggi dan rendah, dan putar media secara serempak;
→ Mulai pelapisan: substrat dikontakkan dengan prekursor secara berurutan dan tanpa reaksi simultan;
→ Bersihkan dengan gas nitrogen kemurnian tinggi setelah setiap reaksi;
→ Berhenti memutar media setelah ketebalan film mencapai standar dan pengoperasian pembersihan dan pendinginan
selesai, lalu keluarkan media setelah kondisi pemecah vakum terpenuhi.
Keuntungan kita
Kami adalah produsen.
Proses dewasa.
Balas dalam 24 jam kerja.
Sertifikasi ISO kami
Bagian Dari Paten Kami
Bagian Dari Penghargaan dan Kualifikasi R&D Kami
Produk kami dijual di seluruh dunia. Anda dapat yakin dengan seluruh proses produk kami.
