Pengendapan Lapisan Atom pada Industri Sistem Elektro Mekanik Mikro
Aplikasi
| Aplikasi | Tujuan spesifik |
|
Sistem Elektro Mekanik Mikro (MEMS) |
Lapisan anti aus |
| Lapisan anti-adhesi | |
| Lapisan pelumas |
Prinsip bekerja
Lapisan atom tunggal akan disimpan di setiap siklus proses.Proses pelapisan biasanya terjadi pada reaksi
ruang, dan gas proses disuntikkan berturut-turut.Atau, substrat dapat ditransfer antara dua
zona diisi dengan prekursor yang berbeda (ALD spasial) untuk mewujudkan proses tersebut.Seluruh proses, termasuk semua reaksi
dan operasi pembersihan, akan diulangi lagi dan lagi sampai ketebalan film yang diinginkan tercapai.Spesifik
keadaan fase awal ditentukan oleh sifat permukaan substrat, dan kemudian ketebalan film akan naik
terus-menerus dengan peningkatan jumlah siklus reaksi. Sejauh ini, ketebalan film dapat dikontrol secara akurat.
Fitur
| Model | ALD-MEMS-X—X |
| Sistem lapisan film | AL2HAI3,TiO2,ZnO, dll |
| Kisaran suhu lapisan | Suhu normal hingga 500 ℃ (Dapat disesuaikan) |
| Lapisan ukuran ruang vakum |
Diameter dalam: 1200mm, Tinggi: 500mm (Dapat disesuaikan) |
| Struktur ruang vakum | Sesuai dengan kebutuhan pelanggan |
| Vakum latar belakang | <5×10-7mbar |
| Ketebalan lapisan | ≥0,15nm |
| Presisi kontrol ketebalan | ±0,1 nm |
| Ukuran pelapis | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², dll |
| keseragaman ketebalan film | ≤±0,5% |
| Prekursor dan gas pembawa |
Trimethylaluminum, titanium tetraklorida, dietil seng, air murni, |
| Catatan: Tersedia produksi yang disesuaikan. | |
Sampel Pelapisan
Langkah Proses
→ Tempatkan substrat untuk pelapisan ke dalam ruang vakum;
→ Sedot ruang vakum pada suhu tinggi dan rendah, dan putar media secara serempak;
→ Mulai pelapisan: substrat dikontakkan dengan prekursor secara berurutan dan tanpa reaksi simultan;
→ Bersihkan dengan gas nitrogen kemurnian tinggi setelah setiap reaksi;
→ Berhenti memutar media setelah ketebalan film mencapai standar dan pengoperasian pembersihan dan pendinginan
selesai, lalu keluarkan media setelah kondisi pemecah vakum terpenuhi.
Keuntungan kita
Kami adalah produsen.
Proses dewasa.
Balas dalam 24 jam kerja.
Sertifikasi ISO kami
Bagian Dari Paten Kami
Bagian Dari Penghargaan dan Kualifikasi R&D Kami
Produk kami dijual di seluruh dunia. Anda dapat yakin dengan seluruh proses produk kami.
