Deposisi Lapisan Atom di Industri Kepala Magnetik
Aplikasi
| Aplikasi | Tujuan spesifik |
| Kepala magnet |
Lapisan jarak isolasi deposisi non-planar |
Prinsip bekerja
Teknologi pengendapan lapisan atom inilah yang membuat prekursor yang akan terlibat dalam reaksi terarah ke
ruang reaksi secara berurutan (satu prekursor pada satu waktu) melalui saluran prekursor yang berbeda.Melalui saturasi
chemisorption pada permukaan substrat, hanya satu lapisan prekursor yang teradsorpsi pada satu waktu.Kelebihan prekursor
dan produk sampingan akan dibersihkan oleh gas inert Ar atau N2untuk mencapai keterbatasan diri.
Fitur
| Model | ALD-MH-X—X |
| Sistem lapisan film | AL2HAI3,TiO2,ZnO, dll |
| Kisaran suhu lapisan | Suhu normal hingga 500 ℃ (Dapat disesuaikan) |
| Lapisan ukuran ruang vakum |
Diameter dalam: 1200mm, Tinggi: 500mm (Dapat disesuaikan) |
| Struktur ruang vakum | Sesuai dengan kebutuhan pelanggan |
| Vakum latar belakang | <5×10-7mbar |
| Ketebalan lapisan | ≥0,15nm |
| Presisi kontrol ketebalan | ±0,1nm |
| Ukuran pelapis | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², dll |
| keseragaman ketebalan film | ≤±0,5% |
| Prekursor dan gas pembawa |
Trimethylaluminum, titanium tetraklorida, dietil seng, air murni, nitrogen, dll. |
| Catatan: Produksi yang disesuaikan tersedia. | |
Sampel Pelapisan
Langkah Proses
→ Tempatkan substrat untuk pelapisan ke dalam ruang vakum;
→ Sedot ruang vakum pada suhu tinggi dan rendah, dan putar media secara serempak;
→ Mulai pelapisan: substrat dikontakkan dengan prekursor secara berurutan dan tanpa reaksi simultan;
→ Bersihkan dengan gas nitrogen kemurnian tinggi setelah setiap reaksi;
→ Berhenti memutar media setelah ketebalan film mencapai standar dan pengoperasian pembersihan dan pendinginan
selesai, lalu keluarkan media setelah kondisi pemecah vakum terpenuhi.
Keuntungan kita
Kami adalah produsen.
Proses dewasa.
Balas dalam 24 jam kerja.
Sertifikasi ISO kami
Bagian Dari Paten Kami
Bagian Dari Penghargaan dan Kualifikasi R&D Kami
Produk kami dijual di seluruh dunia. Anda dapat yakin dengan seluruh proses produk kami.
