Deposisi Lapisan Atom di Industri Energi
Aplikasi
| Aplikasi | Tujuan spesifik |
| Energi | Sel surya silikon kristal: lapisan pasivasi / lapisan penyangga / elektroda transparan |
| Sel peka pewarna: lapisan penghalang rekombinasi foto-anoda / muatan | |
| Sel bahan bakar: membran penukar proton / katoda / elektrolit / katalis | |
| Baterai lithium ion: struktur nano anoda / katoda / lapisan elektroda yang dimodifikasi | |
Bahan termoelektrik | |
| Lapisan pelindung bahan elektroda |
Prinsip bekerja
Ada empat langkah dalam proses pengendapan lapisan atom:
1. Injeksikan gas prekursor pertama ke dalam substrat agar terjadi reaksi adsorpsi dengan permukaan substrat.
2. Siram sisa gas dengan gas inert.
3. Injeksikan gas prekursor kedua agar terjadi reaksi kimia dengan gas prekursor pertama teradsorpsi pada substrat
permukaan untuk membentuk film.
4. Suntikkan kembali gas lembam untuk membuang kelebihan gas.
Fitur
| Model | ALD-EX—X |
| Sistem lapisan film | AL2HAI3,TiO2,ZnO, dll |
| Kisaran suhu lapisan | Suhu normal hingga 500 ℃ (Dapat disesuaikan) |
| Lapisan ukuran ruang vakum | Diameter dalam: 1200mm, Tinggi: 500mm (Dapat disesuaikan) |
| Struktur ruang vakum | Sesuai dengan kebutuhan pelanggan |
| Vakum latar belakang | <5×10-7mbar |
| Ketebalan lapisan | ≥0,15nm |
| Presisi kontrol ketebalan | ±0,1nm |
| Ukuran pelapis | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², dll |
| keseragaman ketebalan film | ≤±0,5% |
| Prekursor dan gas pembawa | Trimethylaluminum, titanium tetraklorida, dietil seng, air murni, |
| Catatan: Tersedia produksi yang disesuaikan. | |
Sampel Pelapisan
Langkah Proses
→ Tempatkan substrat untuk pelapisan ke dalam ruang vakum;
→ Sedot ruang vakum pada suhu tinggi dan rendah, dan putar media secara serempak;
→ Mulai pelapisan: substrat dikontakkan dengan prekursor secara berurutan dan tanpa reaksi simultan;
→ Bersihkan dengan gas nitrogen kemurnian tinggi setelah setiap reaksi;
→ Berhenti memutar media setelah ketebalan film mencapai standar dan pengoperasian pembersihan dan pendinginan
selesai, lalu keluarkan media setelah kondisi pemecah vakum terpenuhi.
Keuntungan kita
Kami adalah produsen.
Proses dewasa.
Balas dalam 24 jam kerja.
Sertifikasi ISO kami
Bagian Dari Paten Kami
Bagian Dari Penghargaan dan Kualifikasi R&D Kami
Produk kami dijual di seluruh dunia. Anda dapat yakin dengan seluruh proses produk kami.
