Deposisi Lapisan Atom dalam Struktur Nano dan Industri Pola
Aplikasi
| Aplikasi | Tujuan spesifik |
| Struktur dan pola nano |
Struktur nano berbantuan templat |
| Struktur nano yang dibantu katalis | |
| ALD regioselektif untuk persiapan nanopattern |
Prinsip bekerja
Deposisi lapisan atom adalah metode pembentukan film dengan membuat prekursor fase gas berdenyut secara bergantian
ke dalam ruang reaksi dan menghasilkan reaksi kemisorpsi fase gas-padat pada substrat yang diendapkan
permukaan.Ketika prekursormencapai permukaan substrat yang diendapkan, mereka akan terserap secara kimiawi
permukaan dan menghasilkan reaksi permukaan.
Fitur
| Model | ALD-NP-X—X |
| Sistem lapisan film | AL2HAI3,TiO2,ZnO, dll |
| Kisaran suhu lapisan | Suhu normal hingga 500 ℃ (Dapat disesuaikan) |
| Lapisan ukuran ruang vakum |
Diameter dalam: 1200mm, Tinggi: 500mm (Dapat disesuaikan) |
| Struktur ruang vakum | Sesuai dengan kebutuhan pelanggan |
| Vakum latar belakang | <5×10-7mbar |
| Ketebalan lapisan | ≥0,15nm |
| Presisi kontrol ketebalan | ±0,1nm |
| Ukuran pelapis | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², dll |
| keseragaman ketebalan film | ≤±0,5% |
| Prekursor dan gas pembawa |
Trimethylaluminum, titanium tetraklorida, dietil seng, air murni, |
| Catatan: Produksi yang disesuaikan tersedia. | |
Sampel Pelapisan
Langkah Proses
→ Tempatkan substrat untuk pelapisan ke dalam ruang vakum;
→ Sedot ruang vakum pada suhu tinggi dan rendah, dan putar media secara serempak;
→ Mulai pelapisan: substrat dikontakkan dengan prekursor secara berurutan dan tanpa reaksi simultan;
→ Bersihkan dengan gas nitrogen kemurnian tinggi setelah setiap reaksi;
→ Berhenti memutar media setelah ketebalan film mencapai standar dan pengoperasian pembersihan dan pendinginan
selesai, lalu keluarkan media setelah kondisi pemecah vakum terpenuhi.
Keuntungan kita
Kami adalah produsen.
Proses dewasa.
Balas dalam 24 jam kerja.
Sertifikasi ISO kami
Bagian Dari Paten Kami
Bagian Dari Penghargaan dan Kualifikasi R&D Kami
Produk kami dijual di seluruh dunia. Anda dapat yakin dengan seluruh proses produk kami.
